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Il Dipartimento di Ingegneria invita studenti e interessati a partecipare al seminario “Introduction to Microlithography”, dedicato ai principi, alle applicazioni e alle principali fasi dei processi di microlitografia.

 

La microlitografia è una tecnologia fondamentale per la microfabbricazione ed è ampiamente utilizzata in ambiti come elettronica, fotonica, meccanica, biologia, chimica e scienza dei materiali. Il seminario offrirà un’introduzione storica al tema e illustrerà le principali fasi del processo: preparazione del substrato, spin coating, esposizione, sviluppo e trasferimento del pattern

 

Data: 8 giugno
Orario: 10:00–12:00
Luogo: Laboratorio informatico, Edificio 6, secondo piano
Relatore: Prof. Claudio Arnone

 

Per informazioni: bernardo.patella@unipa.it