Ascolta

All'interno della Clean Room - Classe 100 si svolgono le esercitazioni e le attività didattiche dei seguenti insegnamenti:

• Microtecnologie
• Nanoelettronica

 

Strumentazione della clean room:

• Electron beam thin film deposition system;
• RF sputtering station;
• Reactive ion etcher;
• Ion beam etcher;
• Dedicated vacuum thermal evaporator with criogenic pump, 5 evaporant sources, 3 crystal thickness monitors for co-evaporation and movable metal shadow mask for molecular organic devices;
• Glove box;
• Quadrupole mass spectrometer;
• Programmable spinner;
• Oven and hot plate;
• Microprobe station;
• Ultra pure water and nitrogen generators.